Antenna Effect는 Channel 면적이 작을수록 문제가 생길 여지가 크기 때문에 갈수록 어려워지는 불량종류입니다. 1. Antenna Effect 플라즈마에 의해 gate oxide가 damage를 입는 것으로, 검출은 oxide가 깨짐으로써 STBY current가 줄줄 새는 걸로 알 수 있습니다. 이러한 문제는 수율과 신뢰성에 큰 영향을 끼칩니다. 주로 MOS 공정중에 ETCH 공정에서 일어납니다. ETCH를 위해 plasma를 쓰게 되는데 면적이 넓을수록, 두께가 두꺼울수록, 많은 양의 plasma가 쌓이고 일정이상 쌓인 plasma는 빠져나갈 데를 찾다가 gate oxide의 Breakdown Voltage를 넘어서는 순간 gate oxide를 통해 한번에 빠져나가면서 damage를 주..